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传感器技术与执行器技术现状
体的微型电子机械系统(MicroElectroMe-chanicalSystems，略记为MEMS，美国惯用词)，或称之为徽系统(Microsystems，欧洲惯用·57·L词)。无论是MEMS或其他最近出现的相关新技术词汇，它们实际上指从纳米到毫米尺寸范围的装置和系统的设计、研究和制造，以及它们与宏观世界的联接(界面)和集成。MEMS的目的不仅在于缩小尺寸和体积-还在于通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术钡域，形成批量化产业。MEMS产品具有尺寸小、精度高、响应快和成本低的优势MEMS已成为一具有交叉学科性质的前沿研究领域，涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程、物理学、化学、医学以及生物技术等多种工程技术和科学，其研究开发内容包括基础理论，设计,[link widoczny dla zalogowanych]，材料，制作工艺，微型传感和执行元件，测试技术，微操作与控制技术，宏／微接口和通讯技术，能源供给，系统集成以及应用等许多方面。MEMS在工业、国防、航空航天、航海、医学和生物工程、农业和家庭服务等领域有着潜在的应用前景。3研究成果因会议接收论文截止日期较早，为了让最新研究成果能在会议期间展出，会议组织者不但赶印了1030页的论文集，而且专门征集了40篇新进展和新成果作为张贴论文和电视展出。征集范围；综述和理论，包括尺寸效应，装置和系统建模，新概念，新效应，标定、补偿和标准等}材料和技术，包括传感和致动新材料，微制造，粘结，三维加工，微装配,[link widoczny dla zalogowanych]，封装，可靠性和测试-减速机构，失效分析，设计和制造的CAD／CAM等}机械传感器，包括力、压力、加速度、流量、定位、声学等传感器,[link widoczny dla zalogowanych]，以及相关装置物理过程、系统和应用}物理传感器(非机械的)，包括电、磁、光、热、光电和放射性传感器，以及相关装置物理过程、系统和应用}化学传感器，包括离子和分子传感器，湿度传感器，传感原理(声、光、电等原理)，传感器物理和化学过程，多传感器阵列，系统和应用}生物传感器，包括生物和医学传感器，传感原理，传感器物理和化学过程，多传感器阵列，系统和应用}执行器，包括压电执行器，形状记忆合金执行器，记录和打印头，微阀、微泵、微电机、微机器人等等，以及相关装置的物理和化学过程、系统和应用}接口电子，包括信号处理和传送，传感系统中系统结构、神经网络等。征集到的部分新成果为：基于Fabry—perot谐振器和干涉滤波器的高分辨率红外多种气体传感器阵列，气敏GaAs金属一半导体场效应晶体管，一种集成生物传感器，谐振硅微结构的表面微细加工，磁致谐振微梁传感器的制作及其谐振频率的聚焦离子柬调制，MEMS中流体输运的实时三维成象显示和分析，双金属致动常闭微型阀新构思，用微力学Mach—Zehnder干涉测量法实现高灵敏度和高清晰度的压力探测，基于薄层微加工硅结构的可控粘性阻尼扭转加速度计，热致动微型泵。传感器和执行器技术是信息和自动控制的重要技术，有着广泛的应用领域，它的研究和开发是永盛不衰的。新原理、新技术和新应用往往是相互关连的。国际会议上研究人员的兴趣也是很多的，如化学和生物传感器、微型传感器、微型执行器和集成微系统等等。传感器和微系统工业化不但是企业的追求，也是研究者的目标。(上接第65页)疑对硅器件的生产工艺有重要的参考意义,[link widoczny dla zalogowanych]。原清华大学的学生赖守亮，现在是依利诺大学博士生，发展的快速扫描量热仪可以测定单原于层的热学参数，报告清晰，数据丰富。在亚稳金属基合金相及其微结构问题的讨论中，作者听了几个报告，感觉到亚稳合金和纳米材料是很有应用前景的一类新材料，目前正处于快速发展之中。·58·
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